Elaboration de couches minces grand format (A4)

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Film format A4
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Contenu

Vos besoins

  • Innover et élaborer des films minces (oxyde ou métallique)
  • Dépôt par pulvérisation cathodique magnétron homogène en composition et épaisseur sur de grande surface
  • Tout type de substrat plan

 

Nos solutions

  • Machine de pulvérisation cathodique magnétron pouvant accueillir des substrats plans de format A4.
  • 2 magnétrons plan de grande taille (40*6cm)
  • Possibilité de dépôt en mode métallique et réactif (azote et/ou oxygène)
  • SAS d’introduction permettant une rotation des substrats rapide
  • Mettre à disposition nos compétences et moyens de traitement et de caractérisation pour vous accompagner dans votre démarche d’innovation

Mots-clés

  • Couches minces
  • PVD
  • Pulvérisation cathodique
  • Caractérisation de couches minces
  • Métallique
  • Réactif
  • Grande surface
  • Homogène

 

Contenu

Compétences proches

  • Dépôt sous ultravide (ALD – PLD – MBE)
  • Structuration de matériaux
  • Croissance de nanomatériaux  
  • Caractérisation chimique (Spectroscopies, etc.)
  • Caractérisation structurale et microstructurale
    - Microscopie électronique (MEB - MET)
    - Diffraction des rayons X
    - AFM

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